技术特征：
1.一种新型蒸镀坩埚装置，包括坩埚，其特征在于，还包括：加热丝，绕设于所述坩埚外部，用于加热使坩埚升温；两坩埚罩，可分离地相对设置于所述坩埚的外部，且拼合后包裹于所述坩埚四周，用于对坩埚进行保温，当坩埚需要冷却时，两坩埚罩可分离并远离坩埚；腔壁，用于形成一可抽真空的容置空间；两冷却板，可分离地相对设置于所述坩埚的外部，在两坩埚罩分离时，两冷却板可向所述坩埚方向移动至与坩埚外壁接触，且底部与腔壁内壁的底面接触；多个传热翅片，与所述冷却板连接且位于所述腔壁内部容置空间内。2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括：第一电机组，通过穿设于所述腔壁的传动杆与两坩埚罩连接，通过传动杆带动两坩埚罩拼合或远离坩埚；第二电机组，通过穿设于所述腔壁的传动杆与两冷却板连接，通过传动杆带动所述冷却板远离坩埚或与坩埚外壁接触。3.如权利要求1或2所述的装置，其特征在于：所述冷却板内设置有冷却液及循环通道，根据控制操作使冷却液循环或停止循环。4.如权利要求3所述的装置，其特征在于：所述冷却液为乙二醇或三元乙丙橡胶。5.如权利要求1所述的装置，其特征在于：两坩埚罩在第一方向上可分离地相对设置于所述坩埚的外部，两冷却板在第二方向上可分离地相对设置于所述坩埚的外部，所述第一方向与第二方向在水平面上呈垂直关系，所述坩埚罩与所述冷却板不在同一时间拼合。6.如权利要求1所述的装置，其特征在于：所述坩埚罩的材料为不锈钢，所述坩埚罩的内表面为不锈钢镜面处理。7.如权利要求1所述的装置，其特征在于：所述两冷却板拼合后为圆筒形状。8.如权利要求1或7所述的装置，其特征在于：所述冷却板的内壁设有纳米管黑体膜层或金属钼膜层。9.一种新型蒸镀坩埚装置的使用方法，适用于权利要求1-8任一项所述的装置，其特征在于，所述使用方法包括如下步骤：当坩埚需要进行升温或者温度保持时，使冷却板分离并远离坩埚，为坩埚罩拼合预留空间，并且冷却板内部的冷却液停止循环；然后使坩埚罩向坩埚移动至坩埚罩拼合并将坩埚包裹，形成对坩埚的保温，防止坩埚内部的热量向外部进行辐射传热；当坩埚需要进行降温时，使坩埚罩分离并远离坩埚，为冷却板与坩埚接触预留空间，然后使冷却板向坩埚移动至与坩埚接触，并且冷却板内部的冷却液开始循环，通过控制冷却液的流速来控制热量传递的速度，冷却板底部与腔壁内壁的底面接触，实现通过冷却板、散热翅片和腔壁整体热辐射降温。10.如权利要求9所述的使用方法，其特征在于：当所述装置包括与两坩埚罩连接的第一电机组和与两冷却板连接的第二电机组时，第一电机组通过传动杆带动两坩埚罩拼合或远离坩埚；第二电机组通过传动杆带动所述冷却板远离坩埚或与坩埚外壁接触；通过第一电机组和第二电机组的配合使所述坩埚罩与所述冷却板不在同一时间拼合。
技术总结
本发明公开了一种新型蒸镀坩埚装置及使用方法，涉及蒸镀坩埚技术领域。所述装置包括：加热丝，绕设于所述坩埚外部，用于加热使坩埚升温；两坩埚罩，可分离地相对设置于所述坩埚的外部，且拼合后包裹于所述坩埚四周，用于对坩埚进行保温，当坩埚需要冷却时，两坩埚罩可分离并远离坩埚；腔壁，用于形成一可抽真空的容置空间；两冷却板，可分离地相对设置于所述坩埚的外部，在两坩埚罩分离时，两冷却板可向所述坩埚方向移动至与坩埚外壁接触，且底部与腔壁内壁的底面接触；多个传热翅片，与所述冷却板连接且位于所述腔壁内部容置空间内。本发明可实现在坩埚加热时的保温以及在坩埚冷却时快速降温，提高了热量传递效率，缩短了降温时间。时间。时间。
技术研发人员：温质康 黄世勋 乔小平
受保护的技术使用者：华映科技（集团）股份有限公司
技术研发日：2023.07.03
技术公布日：2023/10/10