技术特征：
1.一种不等臂长的双臂机械手，其特征在于，包括本体、左手臂、右手臂，所述本体包括绕旋转轴同轴设置的左臂伸缩驱动轴、右臂伸缩驱动轴和手臂旋转驱动轴；所述本体内的所述左臂伸缩驱动轴、所述右伸缩驱动轴和所述手臂旋转驱动轴以轴套轴的结构将所述本体内驱动单元的旋转运动传递到所述左手臂和所述的右手臂，实现所述左手臂和所述右手臂的伸缩和旋转运动；其中，所述左大臂壳体可旋转地固定在所述左臂伸缩驱动轴上，所述左大臂驱动轮可旋转地固定在所述手臂旋转驱动轴上，所述左大臂肘轴固定在所述左大臂壳体上，所述左大臂从动轮可旋转地固定在所述左大臂肘轴上，所述左小臂壳体固定在所述左大臂从动轮上，所述左小臂驱动轮固定在所述左大臂肘轴上，所述左小臂腕轴固定在所述左小臂壳体上，所述左小臂从动轮可旋转地固定在所述左小臂腕轴上，所述左末端执行器固定在所述左小臂从动轮上；所述右大臂壳体可旋转地固定在所述右臂伸缩驱动轴上，所述右大臂驱动轮同样可旋转地固定在所述手臂旋转驱动轴上，所述右大臂肘轴固定在所述右大臂壳体上，所述右大臂从动轮可旋转地固定在所述右大臂肘轴上，所述右小臂壳体固定在所述右大臂从动轮上，所述右小臂驱动轮固定在所述右大臂肘轴上，所述右小臂腕轴固定在所述右小臂壳体上，所述右小臂从动轮可旋转地固定在所述右小臂腕轴上，所述右末端执行器固定在所述右小臂从动轮上；所述左手大臂和左手小臂臂长不等时，或所述右手大臂和右手小臂臂长不等时，所述大臂和小臂传动副各带轮的传动比按所给出的公式计算：大臂和小臂传动副各带轮的传动比按所给出的公式计算：其中，r为半径，l为长度，δi为影响伸缩运动路径直线度的参数。2.根据权利要求1所述的不等臂长的双臂机械手，其特征在于，δi为小于0.003的值。3.根据权利要求2所述的不等臂长的双臂机械手，其特征在于，所述左小臂腕轴或所述右小臂腕轴的运动轨迹为左右波动在
±
0.5mm内的近似直线。4.根据权利要求1所述的不等臂长的双臂机械手，其特征在于，所述左大臂驱动轮和左大臂从动轮通过上下两条左大臂传动带构成传动副，所述右大臂驱动轮和右大臂从动轮通过上下两条右大臂传动带构成传动副；所述左小臂驱动轮和所述左小臂从动轮同样通过上下两条小臂传动带构成传动副，所述右小臂驱动轮和所述右小臂从动轮同样通过上下两条小臂传动带构成传动副。5.根据权利要求4所述的不等臂长的双臂机械手，其特征在于，所述左大臂驱动轮和左大臂从动轮与所述左小臂驱动轮和左小臂从动轮的传动比如
下：所述右大臂驱动轮和右大臂从动轮与所述右小臂驱动轮和右小臂从动轮的传动比如下：下：6.根据权利要求4所述的不等臂长的双臂机械手，其特征在于，所述右大臂传动带和右小臂传动带是开环形式的，两端分别固定在相应传动副的右驱动轮和右从动轮上；所述左大臂传动带和左小臂传动带是开环形式的，两端分别固定在相应传动副的左驱动轮和左从动轮上。7.根据权利要求1所述的不等臂长的双臂机械手，其特征在于，当所述右臂伸缩驱动轴和所述手臂旋转驱动轴固定不旋转运动，所述左臂伸缩驱动轴旋转运动时，所述左手臂做伸缩运动使所述左末端执行器沿预定轨迹做前后的直线伸缩运动，而所述右手臂静止不动。8.根据权利要求1所述的不等臂长的双臂机械手，其特征在于，当所述左臂伸缩驱动轴和所述手臂旋转驱动轴固定不旋转运动，所述右臂伸缩驱动轴旋转运动时，所述右手臂做伸缩运动使所示右末端执行器沿预定轨迹做前后的直线伸缩运动，而所述左手臂静止不动。9.根据权利要求1所述的不等臂长的双臂机械手，其特征在于，当所述手臂旋转驱动轴固定不旋转运动，所述左臂伸缩驱动轴和所述右臂伸缩驱动轴旋转运动时，所述左手臂和所述右手臂做伸缩运动使所述左末端执行器和所述右末端执行器沿预定设计做前后的直线伸缩运动。10.根据权利要求1所述的不等臂长的双臂机械手，其特征在于，当所述右臂伸缩驱动轴、所述左臂伸缩驱动轴和所述手臂旋转驱动轴以同速同向旋转运动时，机械手整个手臂部分一起做旋转运动。
技术总结
一种不等臂长的双臂机械手，包括本体、左手臂、右手臂，所述本体包括绕旋转轴同轴设置的左臂伸缩驱动轴、右臂伸缩驱动轴和手臂旋转驱动轴；所述本体内的所述左臂伸缩驱动轴、所述右伸缩驱动轴和所述手臂旋转驱动轴以轴套轴的结构将所述本体内驱动单元的旋转运动传递到所述左手臂和所述的右手臂，实现所述左手臂和所述右手臂的伸缩和旋转运动，在所述左手大臂和左手小臂臂长不等时，或右手大臂和右手小臂臂长不等时，大臂和小臂传动副各带轮的传动比按推算出来的公式进行计算，不仅可以实现对单个工位和双工位进行晶圆取放片功能，还可以实现对水平间距可调、跨度大且存在高度差两工位晶圆的传输。工位晶圆的传输。工位晶圆的传输。
技术研发人员：焦子洋 杨琦 刘恩龙 武一鸣 中岛隆志 川辺哲也 古市昌稔 曲泉铀 张平 周伟强 王贺明 贾豪 李家璇 西超博 苗义 朱骏驰 王晨旭 张文磊 徐圳
受保护的技术使用者：上海广川科技有限公司
技术研发日：2023.08.24
技术公布日：2023/10/10