技术编号：35696536
提示：您尚未登录，请点 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及属于半导体晶圆传输设备技术领域，具体涉及一种手臂可升降的半导体晶圆传输机械手。背景技术.随着半导体工艺水平的不断提高，前道和后道工艺设备厂对半导体自动化传输技术提出了更高更复杂的要求。.目前行业内用于晶圆传输的scara(selective compliance assembly robot arm)机械手具有等臂长的结构特点，这种等臂长的scara机械手广泛应用于半导体自动化传输设备中，如配套集成在efem(equipment front module)设备内的大气机械手和集...
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