技术特征：
1.一种层叠电极，其中，其设置于应变电阻膜之上，所述应变电阻膜含有cr和al，所述层叠电极具有：重叠于所述应变电阻膜之上的接触层、重叠于所述接触层之上的防扩散层、以及重叠于所述防扩散层之上的安装层，所述防扩散层或所述安装层，以所述接触层不露出的方式，覆盖所述接触层。2.根据权利要求1所述的层叠电极，其中，所述安装层或所述防扩散层，在比所述接触层的端面更靠外侧的位置，与所述应变电阻膜的上表面接触。3.根据权利要求1或2所述的层叠电极，其中，所述防扩散层及所述安装层中的所述安装层，以所述接触层的端面不露出的方式，覆盖所述接触层。4.根据权利要求1或2所述的层叠电极，其中，所述防扩散层，以所述接触层的端面不露出的方式，覆盖所述接触层，所述安装层，以所述防扩散层的端面不露出的方式，覆盖所述防扩散层。5.根据权利要求1～4中任一项所述的层叠电极，其中，重叠于所述防扩散层之上的所述安装层或重叠于所述接触层之上的所述防扩散层，朝向位于比所述接触层的端面更靠外侧的所述应变电阻膜的上表面倾斜且延伸。6.根据权利要求1～5中任一项所述的层叠电极，其中，在所述安装层或所述防扩散层、与所述应变电阻膜的界面，形成有凹凸。7.根据权利要求1～6中任一项所述的层叠电极，其中，所述接触层含有ti，所述防扩散层含有铂族元素，所述安装层含有au。8.一种带电极的应变电阻膜，其中，具有：权利要求1～7中任一项所述的层叠电极；以及设置有所述层叠电极的所述应变电阻膜。9.一种压力传感器，其中，具有：权利要求1～7中任一项所述的层叠电极；设置有所述层叠电极的所述应变电阻膜；以及设置有所述应变电阻膜的膜片。
技术总结
本发明提供耐热性及耐湿性优异的层叠电极、带电极的应变电阻膜及压力传感器。一种层叠电极(36)，其设置于应变电阻膜(32)之上，应变电阻膜(32)含有cr和al，层叠电极(36)具有重叠于应变电阻膜(32)之上的接触层(36a)、重叠于接触层(36a)之上的防扩散层(36b)、以及重叠于防扩散层(36b)之上的安装层(36c)，防扩散层(36b)或安装层(36c)，以接触层(36a)的端面(36a1)不露出的方式，覆盖接触层(36a)。覆盖接触层(36a)。覆盖接触层(36a)。
技术研发人员：小林正典 海野健 笹原哲也 绳冈孝平
受保护的技术使用者：tdk株式会社
技术研发日：2022.02.25
技术公布日：2023/10/15