层叠电极、带电极的应变电阻膜及压力传感器的制作方法-j9九游会真人

层叠电极、带电极的应变电阻膜及压力传感器的制作方法技术资料下载

技术编号:35756897

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.本发明涉及设置于应变电阻膜之上的层叠电极、带电极的应变电阻膜及具有这些的压力传感器。背景技术.近年来,作为可应用至检测液体或气体等的压力的压力传感器的传感器材料,应变电阻膜备受关注(参照专利文献)。在使用了应变电阻膜的压力传感器中,在被称为膜片(membrane)的基材的表面形成有应变电阻膜,当流体压等作用于基材且基材产生变形时,在形成于基材表面的应变电阻膜产生应变,其电阻发生变化。通过将该电阻的变化作为电信号来检测,可以基于该检测值计算施加于基材的压力。.但是,为了将上述的电信号取出...
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