1.本实用新型涉及无蜡垫技术领域，更具体的说，涉及一种抛光用防刮痕的无蜡垫。
背景技术：
2.现有的无蜡垫其本身结构没有内部支撑，导致其强度差，容易损坏，使用寿命低，其次在长期抛光后，无蜡垫的抛光面在摩擦的作用下，导致表面松弛，再次抛光摩擦，在挤压的力作用下，容易使无蜡垫的抛光面上发生崩角或者损坏，导致其无法使用，大大降低其使用寿命。
3.公开号为cn115008342a的中国专利公开了一种晶片抛光用防崩角的无蜡垫及其生产工艺，包括基垫层，基垫层的下方连接有抛光层，基垫层与抛光层中间开设有中空槽，中空槽的内部设置有松紧调整组件，基垫层的上方内设置有吸附层，基垫层上端开设有与中空槽互通的六角调整螺孔。
4.该申请虽然在一定程度上解决了背景技术中的无蜡垫其本身结构没有内部支撑，强度差，容易损坏的问题，但是该申请中的松紧调整机构影响了基垫层的整体弹性，且结构复杂，难以加工。
技术实现要素：
5.本实用新型的目的在于克服现有技术中支撑结构影响弹性的不足，提供了一种抛光用防刮痕的无蜡垫，以解决以上不足。
6.为达到上述目的，本实用新型提供的技术方案为：
7.本实用新型的一种抛光用防刮痕的无蜡垫，包括基垫和抛光垫，所述抛光垫包括抛光层、牵引绳、中心支撑柱和调节螺柱，抛光层的边缘等距离的固定连接有牵引绳，牵引绳的一端共同连接有中心支撑柱，中心支撑柱的下端与调节螺柱啮合，所述基垫层的中心位置上开设有活动孔，活动孔与中心支撑柱插接，活动孔的下端与调节螺柱活动连接。
8.优选的，所述活动孔的内壁上等距离的开设有牵引孔，牵引孔贯穿基垫，且牵引孔延伸至基垫的外壁上，牵引孔与牵引绳一一对应，牵引绳在牵引孔内活动。
9.优选的，所述活动孔上设置有限位槽，中心支撑柱上设置有与限位槽相匹配的凸出。
10.优选的，所述抛光层的下表面设置有同心圆状环形分布的支撑块，基垫的表面开设有与支撑块相匹配的卡合槽，支撑块和卡合槽卡合连接。
11.优选的，所述支撑块和卡合槽均斜向设置，支撑块的下端向基垫的外壁方向倾斜。
12.优选的，所述支撑块呈条状分布在牵引绳对应的上方位置上。
13.采用本实用新型提供的技术方案，与现有技术相比，具有如下有益效果：
14.(1)本实用新型的一种抛光用防刮痕的无蜡垫，将无蜡垫分为基垫和抛光垫，抛光垫包括抛光层、牵引绳、中心支撑柱和调节螺柱，抛光层通过牵引绳的拉伸，整体平整，牵引绳暗藏在牵引孔内，在抛光层出现松弛时，通过中心支撑柱带动牵引绳收紧，将抛光层拉
紧，始终保持抛光层表面平整，防止出现刮痕；
15.(2)本实用新型的一种抛光用防刮痕的无蜡垫，通过支撑块和卡合槽卡合，进一步提高抛光层和基垫连接的紧密度，同时分散的支撑块和卡合槽结构，不会整体影响基垫和抛光垫的弹性，抛光层拉紧后，支撑块和卡合槽仍然通过斜面支撑，抬高抛光层，对抛光层起到支撑作用。
附图说明
16.图1为本实用新型的无蜡垫整体结构图；
17.图2为本实用新型的无蜡垫分解第一视角图；
18.图3为本实用新型的无蜡垫分解第二视角图；
19.图4为本实用新型的无蜡垫剖视图。
20.图中：1、基垫；11、活动孔；111、限位槽；12、牵引孔；13、卡合槽；2、抛光垫；21、抛光层；211、支撑块；22、牵引绳；23、中心支撑柱；24、调节螺柱。
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
22.为进一步了解本实用新型的内容，结合附图对本实用新型作详细描述。
23.结合图1-图4，本实用新型的一种抛光用防刮痕的无蜡垫，包括基垫1和抛光垫2，抛光垫2包括抛光层21、牵引绳22、中心支撑柱23和调节螺柱24，抛光层21的边缘等距离的固定连接有牵引绳22，牵引绳22的一端共同连接有中心支撑柱23，中心支撑柱23的下端与调节螺柱24啮合，所述基垫层1的中心位置上开设有活动孔11，活动孔11与中心支撑柱23插接，活动孔11的下端与调节螺柱24活动连接。
24.具体的，调节螺柱24能够在活动孔11内发生旋转，但是不能上下移动，限制调节螺柱24的位置。
25.活动孔11的内壁上等距离的开设有牵引孔12，牵引孔12贯穿基垫1，且牵引孔12延伸至基垫1的外壁上，牵引孔12与牵引绳22一一对应，牵引绳22在牵引孔12内活动。
26.具体的，抛光层21通过牵引绳22的拉伸，整体平整，牵引绳22暗藏在牵引孔12内，在抛光层21出现松弛时，通过中心支撑柱23带动牵引绳22收紧，将抛光层21拉紧。
27.活动孔11上设置有限位槽111，中心支撑柱23上设置有与限位槽111相匹配的凸出。
28.具体的，通过限位槽111和凸出，使得中心支撑柱23只能在活动孔11内上下移动，不能旋转，当对调节螺柱24进行调整时，调节螺柱24旋转，带动调节螺柱24向上移动，牵引绳22在中心支撑柱23的作用下将松弛的抛光层21拉紧，同时中心支撑柱23的上端向抛光层21方向移动，对抛光层21的中心位置进行支撑，防止抛光层21在按压下出现凹陷。
29.抛光层21的下表面设置有同心圆状环形分布的支撑块211，基垫1的表面开设有与支撑块211相匹配的卡合槽13，支撑块211和卡合槽13卡合连接。
30.具体的，通过支撑块211和卡合槽13卡合，进一步提高抛光层21和基垫1连接的紧密度，同时分散的支撑块211和卡合槽13结构，不会整体影响基垫1和抛光垫2的弹性。
31.支撑块211和卡合槽13均斜向设置，支撑块211的下端向基垫1的外壁方向倾斜。
32.具体的，在抛光层21出现松弛时，牵引绳22拉动抛光层21撑紧，此时，支撑块211的下端在限位槽111的作用下被推向竖直方向，抛光层21的中心位置可能因为撑紧后悬空，支撑块211和卡合槽13仍然通过斜面支撑，抬高抛光层21，对抛光层21起到支撑作用，保证抛光层21表面平整，起到防刮痕的作用。
33.支撑块211呈条状分布在牵引绳22对应的上方位置上。
34.具体的，抛光层21通过牵引绳22拉紧，在牵引绳22对应的抛光层21直线位置上牵引力较大，通过支撑块211能够起到缓冲一定牵引力的作用，防止抛光层21局部牵引力过大，造成抛光层21形变。
35.工作过程：使用时，将半导体晶圆放置到抛光垫2上表面进行抛光，在使用一段时间后，基垫1和抛光垫2容易出现整体松弛，对调节螺柱24进行调整，带动调节螺柱24向上移动，牵引绳22在中心支撑柱23的作用下将松弛的抛光层21拉紧，同时中心支撑柱23的上端向抛光层21方向移动，对抛光层21的中心位置进行支撑，防止抛光层21在按压下出现凹陷，此时，支撑块211的下端在限位槽111的作用下被推向竖直方向，抛光层21的中心位置可能因为撑紧后悬空，支撑块211和卡合槽13仍然通过斜面支撑，抬高抛光层21，对抛光层21起到支撑作用，保证抛光层21表面平整，起到防刮痕的作用。
36.综上所述：本实用新型的一种抛光用防刮痕的无蜡垫，将无蜡垫分为基垫1和抛光垫2，抛光垫2包括抛光层21、牵引绳22、中心支撑柱23和调节螺柱24，抛光层21通过牵引绳22的拉伸，整体平整，牵引绳22暗藏在牵引孔12内，在抛光层21出现松弛时，通过中心支撑柱23带动牵引绳22收紧，将抛光层21拉紧，始终保持抛光层21表面平整，防止出现刮痕；且通过支撑块211和卡合槽13卡合，进一步提高抛光层21和基垫1连接的紧密度，同时分散的支撑块211和卡合槽13结构，不会整体影响基垫1和抛光垫2的弹性，抛光层21拉紧后，支撑块211和卡合槽13仍然通过斜面支撑，抬高抛光层21，对抛光层21起到支撑作用。
37.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
38.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。