技术特征：
1.一种经配置以确定样品的信息的系统，其包括：计算机子系统；及一或多个组件，其由所述计算机子系统执行；其中所述一或多个组件包括语义分割模型，其经配置以响应于在图像中的多个像素中的每一者中表示的内容而将标签指派给所述多个像素中的每一者，其中所述图像是由成像子系统产生的样品的图像；且其中所述计算机子系统经配置用于从所述指派标签确定所述样品的信息且无需所述样品的参考图像。2.根据权利要求1所述的系统，其中为所述样品确定的所述信息包括所述样品上的预测缺陷位置。3.根据权利要求1所述的系统，其中为所述样品确定的所述信息包括所述样品上的预测重复缺陷位置。4.根据权利要求1所述的系统，其中所述语义分割模型经进一步配置用于将所述标签中的第一者指派给其中表示缺陷的所述多个像素中的一或多者且将所述标签中的第二者指派给其中未表示所述缺陷的所述多个像素中的一或多个其它者，且其中所述指派是在无需所述样品的参考图像的情况下执行。5.根据权利要求1所述的系统，其中为所述样品确定的所述信息包括所述样品上的一或多个预测缺陷位置的一或多个缺陷属性。6.根据权利要求1所述的系统，其中所述语义分割模型经进一步配置以将所述标签中的第一者指派给其中表示缺陷的所述多个像素中的一或多者且将所述标签中的第二者指派给其中表示所述样品上的一或多个结构的所述多个像素中的一或多个额外者。7.根据权利要求6所述的系统，其中所述语义分割模型经进一步配置以将所述标签中的第三者指派给其中表示形成于所述一或多个结构下的所述样品上的一或多个额外结构的所述多个像素中的一或多个另外者。8.根据权利要求1所述的系统，其中所述语义分割模型经进一步配置以将所述标签中的第一者指派给其中表示第一类型的所关注的缺陷的一或多个例子的所述多个像素中的一或多者且将所述标签中的一或多个其它者指派给其中未表示所述第一类型的所述所关注的缺陷的所述一或多个例子的所述多个像素中的一或多个其它者。9.根据权利要求1所述的系统，其中所述语义分割模型经进一步配置以将所述标签中的第一者指派给其中表示所关注的第一缺陷的所述多个像素中的一或多者、将所述标签中的第二者指派给其中表示所关注的第二缺陷的所述多个像素中的一或多个额外者及将所述标签中的一或多个其它者指派给其中未表示所关注的所述第一及第二缺陷的所述多个像素中的一或多个其它者，且其中所述第一及第二所关注的缺陷是不同类型的所关注的缺陷。10.根据权利要求1所述的系统，其中指派给所述多个像素中的每一者的所述标签选自在所述语义分割模型的训练期间由所述语义分割模型学习的预定义标签集。11.根据权利要求1所述的系统，其中所述语义分割模型不包括任何全连接层。12.根据权利要求1所述的系统，其中所述计算机子系统经进一步配置以使用包括由深度学习模型产生的一或多个所关注的缺陷的一或多个补片图像及指派给所述一或多个补
片图像中的多个像素中的每一者的标签的训练集来训练所述指派的所述语义分割模型。13.根据权利要求12所述的系统，其中所述深度学习模型包括生成对抗网络。14.根据权利要求12所述的系统，其中所述训练集进一步包括所述一或多个所关注的缺陷或由所述成像子系统产生的一或多个额外所关注的缺陷的一或多个额外补片图像及指派给所述一或多个额外补片图像中的多个像素中的每一者的额外标签。15.根据权利要求1所述的系统，其中所述计算机子系统经进一步配置以使用包括由所述成像子系统产生的一或多个所关注的缺陷的一或多个补片图像及指派给所述一或多个补片图像中的多个像素中的每一者的标签的训练集来训练所述指派的所述语义分割模型。16.根据权利要求1所述的系统，其中所述成像子系统是基于光的成像子系统。17.根据权利要求1所述的系统，其中所述成像子系统是基于电子的成像子系统。18.根据权利要求1所述的系统，其中所述样品是晶片。19.一种非暂时性计算机可读媒体，其存储可在计算机系统上执行以执行用于确定样品的信息的计算机实施方法的程序指令，其中所述计算机实施方法包括：通过将图像输入到包含于由所述计算机系统执行的一或多个组件中的语义分割模型中而响应于在所述图像中的多个像素中的每一者中表示的内容来将标签指派给所述多个像素中的每一者，其中所述图像是由成像子系统产生的样品的图像；及从所述指派标签确定所述样品的信息且无需所述样品的参考图像。20.一种用于确定样品的信息的计算机实施方法，其包括：通过将图像输入到包含于由计算机子系统执行的一或多个组件中的语义分割模型中而响应于在所述图像中的多个像素中的每一者中表示的内容来将标签指派给所述多个像素中的每一者，其中所述图像是由成像子系统产生的样品的图像；及从所述指派标签确定所述样品的信息且无需所述样品的参考图像，其中所述输入及确定由所述计算机子系统执行。
技术总结
提供用于确定样品的信息的方法及系统。一种系统包含计算机子系统及由所述计算机子系统执行的一或多个组件。所述一或多个组件包含语义分割模型，其经配置以响应于在多个像素中的每一者中表示的内容而将标签指派给图像中的所述多个像素中的每一者。所述图像是由成像子系统产生的样品的图像。所述计算机子系统经配置用于从所述指派标签确定所述样品的信息且无需所述样品的参考图像。且无需所述样品的参考图像。且无需所述样品的参考图像。
技术研发人员：b
受保护的技术使用者：科磊股份有限公司
技术研发日：2022.04.04
技术公布日：2023/10/15