专利名称：阵列测试装置的制作方法
技术领域：
下面的描述涉及阵列测试装置，该阵列测试装置检测i殳置于显 示面板的基板上的多个电极中的电缺陷。
背景技术：
阵列测试装置是用于检测显示面板的基板上的电极中的缺陷 的装置。显示面4反包括诸如液晶显示器(lcd)、等离子显示面4反 (pdp)、以及有机发光二极管(oled)的平板显示装置。阵列测 试装置可以测试设置于lcd面板的薄膜晶体管(tft)基板上的电 极是否存在缺陷。一^1的tft lcd面板包括tft基板、上面形成 有滤色片和共用电极并且面对tft基板的彩色基板、注入于tft 基板与彩色基板之间的液晶、以及背光单元。
图1是传统阵列测试装置的一部分的示意图。参照图1,该阵 列测试装置包括多个调制器10、多个检测单元20、光源30、以及 基板支撑单元40。
每个调制器10均比光源30小，并且移动预定距离。每个4全测单元20均_没置于每个调制器10的上部，并且测量通 过调制器10的光的量。
光源30设置于基板的下部，并且朝向调制器io发射光。光源 30形成为沿调制器10的移动方向的单个单元。光源30发射光，使 得光通过基板而射出。光源30的宽度可以与基才反的宽度相同或者 比基板的宽度大。
基板支撑单元40介于光源30与基板之间。基板支撑单元40 具有与光源30相似的尺寸，并且抵靠在待测试的基板上。基板支 撑单元40由透明材料制成，并且允许从光源30发出的光广泛地散 布于基板支撑单元40抵靠的整个基板上。
在通过具有上述结构的传统阵列测试装置测试基板的过程中， 如果当调制器io在基板的特定区域内移动时，调制器io停止移动 预定的时间段，那么光源30就向基板发射光以检测基板中是否存
在缺陷。
近来，随着电光形成技术的发展，更宽的基板被用于平板显示 装置。因此，为了测试如此宽的基板上的电极，需要包括于阵列测 试装置中的光源随基板尺寸的增而按比例地增大。
通常，光源30包括灯和用于散射从灯发出的光的散射板，并 且如果散射板的尺寸比较小，那么设置灯的部分与未设置灯的其它 区域之间的亮度差就会增加，因此该亮度差不会显著影响面板缺陷 的检测，但是当散射板的尺寸变得更大时，设置灯的区域与未设置 灯的区域之间的亮度差就会增加。因此，光未均匀地提供给调制器 10,因而降〗氐了面外反缺陷;险测的可靠性。而且，光源30不〗又向通过调制器10测试的区域发射光，而且 还向不通过调制器10测试的区域发射光。因此，在进行面板是否 存在缺陷的测试时，可能消耗不必要的电能。
发明内容
本发明公开了 一种阵列测试装置，其具有用于通过向调制器发 射均匀光的光源而提高面板缺陷检测可靠性的结构。另外，还公开 了 一种具有仅允许调制器发射光的结构的阵列测试装置。
才艮据另一方面，公开了一种阵列测试装置，包括至少一个调 制器，其设置于待测试的基板的一侧，并且沿第一轴线移动；以及
至少一个光源，其具有的尺寸与调制器的尺寸相对应，设置成与调 制器——对应并向相应的调制器发射光，并且当在基4反上进行测试 时所述光源被移动到与调制器相同的位置。
本领域技术人员将通过下面的详细描述而明白其它特征，下面 的详细描述与附图结合起来，公开了本发明的示例性实施例。
图1是传统阵列测试装置的一部分的示意图。
图2是根据示例性实施例的阵列测试装置的透视图。
图3是4艮据示例性实施例的阵列测试装置的截面图，该阵列测 试装置具有与调制器联合移动的光源。
具体实施例方式
提供下面的详细描述用来帮助读者获得对此处描述的方法、装 置和/或系统的全面理解。因此，对本领域4支术人员来i兌，可以对此处描述的系统、装置和/或方法进行各种改变、修改、和等同变化。 另外，省略了对众所周知的功能和结构的描述，以便增加清楚性和 简洁性。
图2是才艮据示例性实施例的阵列测试装置100的透4见图。参照 图2，该阵列测试装置100包括多个调制器110和多个光源120。
每个调制器110均设置于待测试的基板10的一侧(图2中的 基^反10的上部)。调制器110沿第一轴线移动。第一轴线与基纟反io 朝向调制器iio移动的移动方向垂直。调制器110靠近待测试的基 板10放置，并且如果根据基板10缺陷的存在而向调制器110施加 电信号，则特定性质改变。例如，调制器110中形成电场，并且调 制器110的分子由于该电场而沿特定的方向排列，并且如果待测试 基板10上的电才及正常，则允许光通过调制器110。另一方面，如果 基板10上的电极有缺陷，则调制器110内部不形成电场，因此分 子的排列不会改变。结果，光不能通过调制器110。检测单元111 设置于调制器110的一侧，并且检测单元111测量调制器110的变 化性质，以检测基板10的电极是否存在缺陷。
每个光源120均设置于基板10的另一侧(图2中的基板10的 下部)，以面对每个调制器110并且将光发射到每个调制器上。也 就是说，相对于基板io,调制器110和光源120设置成彼此相对。
每个光源120具有的尺寸与调制器110的尺寸相对应，也就是 说，每个光源的尺寸与调制器110的尺寸相同或者比调制器的尺寸 稍大，并且当测试面板中是否存在缺陷时，每个光源从基板10的 另 一方向移动到与调制器110相同的位置。包括于阵列测试装置100 中的光源120具有的尺寸与调制器110的尺寸相对应，并且仅消耗 少量的电能来发射光。从光源120发射的光可以是来自于氙气灯、 钠灯、以及水晶面素灯的光或者是激光。根据示例性实施例的阵列测试装置100具有小尺寸的光源120 以与调制器110的尺寸相对应，从而光源120与调制器110之间的 亮度差能够明显较小。因此，光源120朝向基板10发射均匀的光 以将该均匀的光提供给调制器110,因此光的量根据面板的电极是 否存在缺陷而一致地改变。因而，枱"测单元111测量通过调制器110 的光的量以确定相应的电纟及是否有缺陷，从而纟是高阵列测试装置 100的面板缺陷检测的可靠性。
而且，阵列测试装置io(h吏每个光源120具有的尺寸与调制器 110的尺寸一样小，并且光源120与调制器110相联结且一起移动。 因此，光源120向待测试基板10的特定区域发射光，而不向基板 10的非计划区域发射光，因此能够以较小的电能消耗来测试面板中 的击夹陷。
在检测面板是否存在缺陷的过程中，光源120可以位于与调制 器iio相同的位置处。
图3是冲艮据示例性实施例的阵列测试装置的截面图，该阵列测 试装置具有与调制器一起移动的光源。参照图3，除了图2中所示 的元件之外，该阵列测试装置进一步包4舌调制器移动组件130和光 源移动组件140。
调制器移动组件130将调制器110朝向与基板10移动所沿的 第二轴线垂直的第一轴线(参照图2)移动预定距离。接着，调制 器移动组件130允许调制器110在预定距离处停留在基板上预定长 的时间，以测试面^反是否存在缺陷。调制器移动组件130重复上述 操作以测试整个基板10 。
光源移动组件140允许光源120与调制器110 —起移动。更具 体地说，光源移动组件140允许光源120沿与调制器110相同的方向(第一轴线方向)移动相同的距离，从而调制器110和光源120 沿垂直方向(图3中的第三轴线方向)继续4皮此面对。
此处，虽然调制器110可以以与光源120不同的速度移动，^旦 是更有利的是，调制器110和光源120两者以相同的速度移动。通 过将调制器110和光源120布置成彼此面对，可以缩短将调制器110 和光源120重新布置成4皮此垂直所用的时间，因此也可以缩短4全测 电极中是否存在缺陷所用的时间。
光源移动组件140包括轨道142和移动板141。
專九道142沿第一轴线延伸，该第一轴线与基4反10移动所沿的 第二轴线垂直。
移动纟反141连4矣于光源120。移动板141沿第一轴线方向可移 动地连接于轨道142。但是，光源移动组件140的结构不限于轨道 142和移动板141。
调制器移动组件130移动调制器110，并且光源移动组件140 移动光源120以将其放置在与调制器相同的位置，从而调制器110 和光源120相对于基板10移动。因此，当待测试的基板10被放置 于调制器110与光源120之间时，调制器110和光源120停止移动 予贞定长的时间，并且调制器110和相应的光源120中的每一个均枱r 测基板io的特定区域中是否存在缺陷。然后，在给定的时间之后， 调制器110和光源120移动到基板10的另一区域并停止移动，以 检测在基板的该区域中是否存在缺陷。阵列测试装置ioo重复这样 的操作以测试整个基^反10 。
阵列测试装置100可以包括基板支撑单元150。基板支撑单元 150抵靠于基板10上，并且设置于光源120与基板10之间。如果存在任何电缺陷，则待测试的基板10所抵靠的基板支撑单元150 测试基板io。基板支撑单元150可以由透明材料制成，因为透明材 料能够4吏得,人光源120发射的光通过基板10并到达调制器110。
再次参照图2,才艮据示例性实施例的阵列测试装置100可以包 4舌装载单元160和卸载单元170，以将基^反10供应给调制器110以 便测试。
装载单元160形成于基板支撑单元150的一侧，并且将基板10 朝向基板支撑单元150传送。另外，装载单元160可以包括至少两 个或多个装载板161。装载才反161间隔地并排i殳置，从而基板10能 够4氐靠于装载4反161上或者能够通过间隔的装载拓^ 161而纟皮移动至 调制器110。
卸载单元170形成于设置装载单元160的基才反支撑单元150的 另一侧，并且将已在其上完成缺陷检测测试的基4反10卸载。已在 其上完成缺陷4企测测试的基4反10 4氏靠于卸载4反171上或者以预定 间隙浮于卸载一反上方以^更移动。
在这种情况下，装载单元160的装载板161和卸载单元170的 卸载板171各自可以包括多个第一气孔162和第二气孔172，以便 向基板10提供给定压力，使得基板10与装载板161隔开预定距离。 而且，装载单元160和卸载单元170可以包括至少一个第一吸附单 元163和第二吸附单元(图2中未示出)。
另外，基才反支撑单元150可以包^"多个第三气孔151。第三气 孔151向基板10提供预定量的压力，使得基板10在移动时与基板 支撑单元150隔开预定距离。另外，基板支撑单元150可以包括至 少一个第三吸附单元152,以便固定于正在进行测试的基板10上。在另一实施例中，虽然图中未示出，但是调制器110可以包括
传送基板、调制器电极层、以及电材料层。
传送基板、调制器电极层、以及电材料层按照离基板最远到最
近的顺序布置。也就是说，如图3所示，当调制器被放置于基板io 上方时，传送基板、调制器电极层、以及电材料层按照从顶部到底 部的顺序形成。
传送基板由光能够通过的材料形成，通常该材料是诸如石英和 bk-7的透明物质。透明基板的背面具有稍后将描述的调制器电极 层和电材料层。因此，传送基板由具有刚性的材料形成，以便支撑 调制器电极层和电材料层。
调制器电纟及层形成电才及和电》兹场，该电4及和电》兹场形成于基4反 10上。由于调制器电极层成为光路，所以它需要具有高透光率。调 制器电极层的实例可以包括氧化铟锡(ito )或者纳米碳管(cnt )。
调制器电极层与形成于一般面板上的共用电极作用一样。共用 电才及在面^反电4及之间产生电》兹场。同样地，电能施加于调制器电^l 层以及面才反电才及，并在调制器电极层与面^反电才及之间产生电》兹场。 因此，当阵列测试装置ioo测试面板中是否存在缺陷时，调制器电 极层和面板电极可以祐:设置成通过所供应的电能而彼此电连接。
电材料层根据电磁场的大小来改变从光源120发射的光的量。 更具体地说，当产生电》兹场时，电材料层使其分子沿电场的方向排 列，因而光通过电材料层。可替换地，当未产生电,兹场时，电材料 层的分子不^l则地排列，并且电材料层不允"i午光通过。也就是i兌， 才艮据是否存在电^兹场，可选才奪地允许光通过，并且在电材并牛层上形 成预定图样(form)。电材并 层可以包括聚合物分散液晶(pdlc)。 pdlc用于^^艮据光散射程度来调节光的传输，并且由于该特性，pdlc适用于电材料层。但是，电材料层的材料不限于pdlc，可 以使用包括无机电致发光(el)和液晶的各种类型的面板。
显然，在不脱离本发明的精神或范围的前提下，本领域技术人 员可以对本发明进行多种修改和变型。因此，本发明旨在覆盖在所 附的^又利要求及其等同物的范围内所才是供的该发明的 务改和变型。
权利要求
1. 一种阵列测试装置，包括至少一个调制器，其设置于待测试的基板的一侧，并且沿第一轴线移动；以及至少一个光源，. 其具有的尺寸与所述调制器的尺寸相对应，设置成与所述调制器一一对应并向相应的调制器发射光，并且当在所述基板上进行测试时所述光源被移动到与所述调制器相同的位置。
2. 根据权利要求1所述的阵列测试装置，进一步包括调制器移动组件，其沿第一轴线移动所述调制器；以及 光源移动组件，其^f吏所述光源与所述调制器联合移动。
3. 根据权利要求1所述的阵列测试装置，其中所述调制器包括 传送基板；调制器电极层，在其自身与形成于所述基板上的电 极之间形成电f兹场；以及电材料层，其根据所述电磁场的大小 改变从所述光源发射的光的量，并且所述传送基板、所述调制 器电极层和所述电材料层按照离所述基板最远到最近的顺序 布置。
4. 根据权利要求1所述的阵列测试装置，进一步包括基板支撑单元，其介于所述光源与所述基板之间，并抵 靠于所述基板上，且由透明材料制成以允许从所述光源发射的 光到达所述基板。
全文摘要
本发明公开了一种阵列测试装置，其对显示面板的基板上的多个电极中是否存在电缺陷进行测试。该阵列测试装置包括至少一个光源和至少一个调制器。光源设置于基板的与调制器所设置的位置相对的一侧，光源与调制器一一对应，向相应的调制器发射光，并被移动到与调制器相同的位置。光源的尺寸与调制器的一样小，因而光源的亮度差明显减小。因此，光源朝向基板发射均匀的光以向调制器提供均匀的光，从而能够使根据面板的电极中是否存在缺陷而改变的光的量稳定。因而，测试阵列的检测单元测量通过调制器的光的量，并且精确地确定电极是否具有缺陷，从而提高面板缺陷检测的可靠性。
文档编号g01r31/00gk101419373sq20081018177
公开日2009年4月29日 申请日期2008年12月8日 优先权日2008年8月4日
发明者丁东澈, 崔渊圭, 张文柱, 方圭龙, 潘俊浩 申请人:塔工程有限公司