微观装置的制造及其处理技术-j9九游会真人

本发明涉及一种平面纳米线三维坡面阵列生长方法，特别是通过对异质交替叠层进行刻蚀形成坡面纳米引导台阶，从而实现高密度坡面平行纳米线阵列的方法。涉及一种获得高密度三维纳米线沟道阵列的可靠方法，可广泛应用于半导体微纳电子器件，尤其针对大面积电子(平板显示tft应用)、3d逻辑、柔性/可穿戴电子和场效应生...

本发明属于微型机械电子系统，特别涉及一种用于mems微结构动态特性测试的三轴式底座激励装置。由于mems微器件具有成本低、体积小和重量轻等优点，使其在汽车、航空航天、信息通讯、生物化学、医疗、自动控制和国防等诸多领域都有着广泛的应用前景。对于很多mems器件来说，其内部微结构的微小...

本发明属于微型机械电子系统，特别涉及一种基于压电陶瓷的mems微结构三轴式动态加载装置。由于mems微器件具有成本低、体积小和重量轻等优点，使其在汽车、航空航天、信息通讯、生物化学、医疗、自动控制和国防等诸多领域都有着广泛的应用前景。对于很多mems器件来说，其内部微结构的微小位移...

本发明属于微型机械电子系统，特别涉及一种由叠堆压电陶瓷驱动的mems微结构四轴式底座激励装置。由于mems微器件具有成本低、体积小和重量轻等优点，使其在汽车、航空航天、信息通讯、生物化学、医疗、自动控制和国防等诸多领域都有着广泛的应用前景。对于很多mems器件来说，其内部微结构的微...

本发明属于微型机械电子系统，特别涉及一种用于mems微结构动态特性测试的四轴式底座激励装置。由于mems微器件具有成本低、体积小和重量轻等优点，使其在汽车、航空航天、信息通讯、生物化学、医疗、自动控制和国防等诸多领域都有着广泛的应用前景。对于很多mems器件来说，其内部微结构的微小...

本发明属于微型机械电子系统，特别涉及一种用于mems微结构动态特性测试的四轴式激振装置。由于mems微器件具有成本低、体积小和重量轻等优点，使其在汽车、航空航天、信息通讯、生物化学、医疗、自动控制和国防等诸多领域都有着广泛的应用前景。对于很多mems器件来说，其内部微结构的微小位移...

本发明属于微型机械电子系统，特别涉及一种以压电陶瓷为激励源的mems微结构四轴式激振装置。由于mems微器件具有成本低、体积小和重量轻等优点，使其在汽车、航空航天、信息通讯、生物化学、医疗、自动控制和国防等诸多领域都有着广泛的应用前景。对于很多mems器件来说，其内部微结构的微小位...

本发明属于微型机械电子系统，特别涉及一种用于对mems微结构进行动态加载的三轴式激振装置。由于mems微器件具有成本低、体积小和重量轻等优点，使其在汽车、航空航天、信息通讯、生物化学、医疗、自动控制和国防等诸多领域都有着广泛的应用前景。对于很多mems器件来说，其内部微结构的微小位...

本发明属于微型机械电子系统，特别涉及一种带有可动底座结构的mems微结构三轴式激励装置。由于mems微器件具有成本低、体积小和重量轻等优点，使其在汽车、航空航天、信息通讯、生物化学、医疗、自动控制和国防等诸多领域都有着广泛的应用前景。对于很多mems器件来说，其内部微结构的微小位移...

本发明属于微型机械电子系统，特别涉及一种基于底座激励方法的mems微结构四轴式激振装置。由于mems微器件具有成本低、体积小和重量轻等优点，使其在汽车、航空航天、信息通讯、生物化学、医疗、自动控制和国防等诸多领域都有着广泛的应用前景。对于很多mems器件来说，其内部微结构的微小位移...

本发明涉及半导体制造，更具体地说，涉及一种mems压电传感器及其制作方法。压电传感器是指利用某些电介质的压电效应制成的传感器。其中，压电效应包括正压电效应和逆压电效应。利用正压电效应的压电传感器，例如压力传感器，在受到外力作用时会输出电信号，采用信号处理电路对该电信号进行分...

本发明实施例涉及一种封装的形成方法。微机电系统(micro-electro-mechanicalsystem，mems)装置(例如加速计、压力传感器及陀螺仪)在现代的许多电子装置中已得到广泛使用。举例来说，微机电系统加速计常见于汽车中(例如，安全气囊展开系统中)、平板计算机中、或智能电话...

本公开涉及微纳电子器件加工、圆片级高真空封装、无引线封装领域，尤其涉及一种基于硅玻璃阳极键合的圆片级高真空无引线封装方法。mems封装技术作为mems技术中的一大难点，多年来一直制约着mems技术的发展。据国外多项统计表明，mems封装的成本占mems产品的70％-90％，之所以出现这种情...

本发明涉及微纳米，特别是涉及一种微纳弯曲结构的制备方法。随着电子器件以及光学器件的发展，三维弯曲结构已经越来越多的用到我们使用的器件中。例如在光学超材料中，二维的或者平面的光学超材料由于很难与光的磁场分量产生耦合，所以在许多情况下无法发挥光学超材料的调控优势，而三维的光学超材料对于...

本发明涉及半导体，具体而言涉及一种mems器件及制备方法、电子装置。随着半导体技术的不断发展，在传感器(motionsensor)类产品的市场上，智能手机、集成cmos和微机电系统(mems)器件日益成为最主流、最先进的技术，并且随着技术的更新，这类传动传感器产品的发展方向是规模...

本发明涉及膜片截止阀，尤其涉及一种膜片截止阀及其制造方法。在微流控领域(尤其是mems微阀领域)中，截止阀已逐渐开始配合着微泵结构投入应用，以实现流体分流和流体控制。现有的截止阀都体积巨大，无法满足微流体微米级的尺寸需求和精细控制，使用不方便，制造成本高，加工效率低。发明内容本发明...

本发明涉及传感器领域，尤其一种传感器及其制备方法。当今社会生产过程自动化不断扩展到各个领域，功能单一的传感器已经不能满足人们日益增长的测量需求，更不能满足自动化测控系统的需求。随着人类迈入工业4.0时代，传感器小型化、智能化以及标准化是大势所趋，减小传感器体积和重量，提高灵敏度，抗干扰和多...

本发明涉及半导体领域，尤其涉及一种金属电极结构的制造方法。金属电极结构用于实现器件的导通和器件与其他器件之间的互连，因此，金属电极结构的制备成为了生产器件的主要工序之一。比如，mems(microelectromechanicalsystem，微机电系统)技术，mesm技术作为一项新...

本发明属于金属纳米结构领域，具体涉及一种金属纳米颗粒结构阵列及其制备方法。表面增强拉曼光谱（sers）是一种新兴的生物分子检测技术,具有很高的检测灵敏度,可以实现单分子量级的检测,并且能够提供丰富的分子结构信息。将sers发展成为一种具有实际应用意义的分析技术,其关键是制备灵敏度高、稳定性...

本发明涉及半导体领域，具体地，本发明涉及一种mems器件及其制备方法、电子装置。随着半导体技术的不断发展，在传感器(motionsensor)类产品的市场上，智能手机、集成cmos和微机电系统(mems)器件日益成为最主流、最先进的技术，并且随着技术的更新，这类传动传感器产品的发展方向是...