一种硅烷尾气燃烧除尘净化系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及废气处理领域，具体涉及一种硅烷尾气燃烧除尘净化系统。
【背景技术】
[0002]太阳能电池生产过程和集成电路以及电子元件的制造过程中会产生很多废气，如采用pecvd化学气象沉积工艺时所产生的废气，该尾气主要含硅烷，还包括氨气等。硅烷是一种无色、与空气反应并会引起窒息的气体，该气体通常与空气接触会引起燃烧并放出很浓的白色无定型二氧化硅烟雾，因此必须经过处理后才能排入大气，原本采用燃烧桶与燃烧塔组合的方法，有很高的危险性和处理不稳定性。
【发明内容】
[0003]为克服上有技术的缺陷，本发明的目的旨在提出一种硅烷尾气燃烧除尘净化系统，能够提高尾气处理效果和尾气排放的安全性。
[0004]为实现上述目的，本发明采用如下之技术方案:
[0005]一种硅烷尾气燃烧除尘净化系统，包括燃烧桶、粉尘集尘机、尾气净化塔；所述燃烧桶下部设置有废气进气口，顶部设置有燃烧桶顶部出气口 ；所述粉尘集尘机与所述燃烧桶顶部出气口通过管道连通；所述粉尘集尘机出口通过管道设有一排风机；所述尾气净化塔顶部设有尾气净化塔进气口，所述尾气净化塔进气口与所述排风机通过管道连通；所述尾气净化塔顶部设有排气口；
[0006]所述尾气净化塔包括燃烧室、洗涤室；所述燃烧室下部与所述洗涤室下部相通；
[0007]所述洗涤室外部下方设有一水箱。
[0008]进一步的，所述燃烧桶内设有压缩空气充气口和氮气充气口，压缩空气及氮气都配有流量控制器。
[0009]进一步的，所述燃烧桶底部设有排污口。
[0010]进一步的，所述粉尘集尘机为布袋除尘器。
[0011 ] 进一步的，所述燃烧室内部下方设有集灰小推车。
[0012]进一步的，所述燃烧室与所述洗涤室均设有视窗。
[0013]进一步的，所述洗涤室内从下往上依次设有一级降温除尘层、二级降温除尘层、除雾层。
[0014]进一步的，所述一级降温除尘层不放置填充料层，所述二级降温除尘层和所述除雾层内装填大量的特拉瑞填料。
[0015]进一步的，所述一级降温除尘层与所述二级降温除尘层上均配有喷淋装置。
[0016]进一步的，所述水箱两边对称设有耐酸碱栗。
[0017]由于上述技术方案运用，本发明与现有技术相比具有下列优点:
[0018]本发明通过设置集尘机强有力的保证尾气排放的安全性，解决了【背景技术】在生产设备运行中粉尘量大，清理维护不及时造成后段处理设备堵塞结垢等问题，大大减轻了对燃烧塔设备的影响，提高了系统处理的效果。
【附图说明】
[0019]图1为本发明的正视图。
[0020]以上附图中:1、燃烧桶；11、废气进气口 ；12、压缩空气充气口 ；13、氮气充气口 ；14、燃烧桶顶部出气口 ；15、排污口 ；2、粉尘集尘机；3、排风机；4、尾气净化塔；421、水箱；
423、一级降温除尘层；424、二级降温除尘层；425、除雾层；426、废气出气口；5、视窗。
【具体实施方式】
[0021]下面结合附图及实施例对本发明作进一步描述:
[0022]实施例:参见图1:
[0023]一种硅烷尾气燃烧除尘净化系统，包括燃烧桶1、粉尘集尘机2、尾气净化塔4 ;所述燃烧桶1下部设置有废气进气口 11，顶部设置有燃烧桶顶部出气口 14 ;所述粉尘集尘机2与所述燃烧桶顶部出气口 14通过管道连通；所述粉尘集尘机2出口通过管道设有一排风机3 ;所述尾气净化塔4顶部设有尾气净化塔进气口，所述尾气净化塔进气口与所述排风机3通过管道连通；所述尾气净化塔4顶部设有废气出气口 426 ;
[0024]所述尾气净化塔包括燃烧室、洗涤室；所述燃烧室下部与所述洗涤室下部相通；
[0025]所述洗涤室外部下方设有一水箱421。
[0026]进一步的，所述燃烧桶1内设有压缩空气充气口 12和氮气充气口 13，压缩空气及氮气都配有流量控制器。
[0027]进一步的，所述燃烧桶1底部设有排污口 15。
[0028]进一步的，所述粉尘集尘机2为布袋除尘器。
[0029]进一步的，所述燃烧室内部下方设有集灰小推车。
[0030]进一步的，所述燃烧室与所述洗涤室均设有视窗5。
[0031]进一步的，所述洗涤室内从下往上依次设有一级降温除尘层423、二级降温除尘层
424、除雾层425。
[0032]进一步的，所述一级降温除尘层423不放置填充料层，所述二级降温除尘层424和所述除雾层425内装填大量的特拉瑞填料。
[0033]进一步的，所述一级降温除尘层423与所述二级降温除尘层424上均配有喷淋装置。
[0034]进一步的，所述水箱421两边对称设有耐酸碱栗。
[0035]工作原理:
[0036]1、硅烷尾气进入燃烧桶1的同时在压缩空气充气口 12通入压缩空气，在氮气充气口 13通入氮气，压缩空气用来推助硅烷尾气的燃烧反应，氮气通入则达到吹散硅烷燃烧之后产生粉尘，不让其粘到燃烧桶1内壁。压缩空气及氮气都配有流量控制器。
[0037]2、硅烷燃烧后的粉尘一部分停留在燃烧桶1的排污处口 15处，当运行一段时间后，打开排污口进行清理粉尘。另一部分进入粉尘集尘机2，经过布袋过滤后的尾气通过排风机3进入硅烷尾气净化塔4内的燃烧室燃烧。
[0038]3、刚燃烧过的尾气含有部分的余热，进入洗涤塔，由下到上依次经过一级降温除尘层423、二级降温除尘层424进行降温除尘处理，最后经过除雾层425进行除水处理后由废气出气口 426排出。
[0039]硅烷尾气经过燃烧桶燃烧、粉尘集尘机过滤、尾气净化塔的燃烧洗涤，以此三阶段净化处理后，废气可达到最新的《电池工业污染物排放标准》标准要求。系统内设置粉尘集尘机，强有力的保证尾气排放的安全性，大大减轻了对燃烧塔设备的影响，提高了系统处理的效果。
[0040]上述实施例只为说明本发明的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本发明的内容并据以实施，并不能以此限制本发明的保护范围。凡根据本发明所做的等效变化或修饰，都应该涵盖在本发明的保护范围之内。
【主权项】
1.一种硅烷尾气燃烧除尘净化系统，其特征在于:包括燃烧桶、粉尘集尘机、尾气净化塔；所述燃烧桶下部设置有废气进气口，顶部设置有燃烧桶顶部出气口 ；所述粉尘集尘机与所述燃烧桶顶部出气口通过管道连通；所述粉尘集尘机出口通过管道设有一排风机；所述尾气净化塔顶部设有尾气净化塔进气口，所述尾气净化塔进气口与所述排风机通过管道连通；所述尾气净化塔顶部设有排气口 ；所述尾气净化塔包括燃烧室、洗涤室；所述燃烧室下部与所述洗涤室下部相通；所述洗涤室外部下方设有一水箱。2.根据权利要求1所述的一种硅烷尾气燃烧除尘净化系统，其特征在于:所述燃烧桶内设有压缩空气充气口和氮气充气口，压缩空气及氮气都配有流量控制器。3.根据权利要求1所述的一种硅烷尾气燃烧除尘净化系统，其特征在于:所述燃烧桶底部设有排污口。4.根据权利要求1所述的一种硅烷尾气燃烧除尘净化系统，其特征在于:所述粉尘集尘机为布袋除尘器。5.根据权利要求1所述的一种硅烷尾气燃烧除尘净化系统，其特征在于:所述燃烧室内部下方设有集灰小推车。6.根据权利要求1所述的一种硅烷尾气燃烧除尘净化系统，其特征在于:所述燃烧室与所述洗涤室均设有视窗。7.根据权利要求1所述的一种硅烷尾气燃烧除尘净化系统，其特征在于:所述洗涤室内从下往上依次设有一级降温除尘层、二级降温除尘层、除雾层。8.根据权利要求7所述的一种硅烷尾气燃烧除尘净化系统，其特征在于:所述一级降温除尘层不放置填充料层，所述二级降温除尘层和所述除雾层内装填大量的特拉瑞填料。9.根据权利要求7所述的一种硅烷尾气燃烧除尘净化系统，其特征在于:所述一级降温除尘层与所述二级降温除尘层上均配有喷淋装置。10.根据权利要求1所述的一种硅烷尾气燃烧除尘净化系统，其特征在于:所述水箱两边对称设有耐酸碱栗。
【专利摘要】一种硅烷尾气燃烧除尘净化系统，包括燃烧桶、粉尘集尘机、尾气净化塔；所述燃烧桶下部设置有废气进气口，顶部设置有燃烧桶顶部出气口；所述粉尘集尘机与所述燃烧桶顶部出气口通过管道连通；所述粉尘集尘机出口通过管道设有一排风机；所述尾气净化塔顶部设有尾气净化塔进气口，所述尾气净化塔进气口与所述排风机通过管道连通；所述尾气净化塔顶部设有排气口；所述尾气净化塔包括燃烧室、洗涤室；所述燃烧室下部与所述洗涤室下部相通。本发明通过设置集尘机强有力的保证尾气排放的安全性，解决了【背景技术】在生产设备运行中粉尘量大，清理维护不及时造成后段处理设备堵塞结垢等问题，大大减轻了对燃烧塔设备的影响，提高了系统处理的效果。
【ipc分类】f23j15/04, f23g7/06, f23j15/02, f23j1/00, f23j15/06
【公开号】cn105333444
【申请号】cn201510707722
【发明人】董仕宏, 吴倩倩, 张世忠
【申请人】苏州仕净环保科技股份有限公司
【公开日】2016年2月17日
【申请日】2015年10月28日