技术编号：35756888
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。传感器技术整合到涂布轨道中.相关专利和申请的交叉引用.本申请要求于年月日提交的美国非临时专利申请号/,的提交日期的优先权和权益，该美国非临时专利申请通过引用以其全部内容并入本文。技术领域.本发明总体上涉及用于膜沉积的方法，并且，在具体实施例中，涉及将传感器技术整合到涂布轨道(coating track)中。背景技术.各种膜通过以下方式沉积：将膜基质悬浮在溶剂中，将膜基质溶液涂布到衬底上，并且然后加热衬底以驱除溶剂，留下膜涂层。.最广泛使用的在半导体衬底上涂...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。