技术编号：35756821
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及检查系统、检查管理装置、检查方法和程序。背景技术.以往，在各种基板的制造工序中进行使用了拍摄基板得到的图像的计测、检查，已知有通过x射线ct检查来实施靠外观无法检查的部分的检查的技术。另外，公知有在进行这样的检查时，对判定为异常的检查对象物，以与该异常的种类对应的拍摄条件进行再检查的技术(例如专利文献)。.另外，还公开了如下技术：在使用x射线检查装置进行基板的检查时，生成基于在进行一次检查时取得的多个一次图像数据而生成的分辨率比一次图像数据高的二次图像数据，针对在一次图像数据...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。